酒精精餾塔是石油及化工生產中重要的設備之一，經過氣（或汽）液或液液兩相的嚴密接觸，達到相間傳質和傳熱的意圖，完成混合物系的分離提純。酒精精餾塔工藝操作中的物料平衡聯系、回流比、進料工況、塔壓、塔溫、組分配比及內部水力學現象均直接聯系著精餾操作的穩定性，影響整個生產設備的產值、質量、生產能力、消耗定額等各個方面。

精餾塔的作業原理是酒精經過以上兩塔蒸餾后，酒精濃度還需求進一步進步，雜質還需進一步掃除，精餾塔的蒸餾意圖便是經過加熱蒸騰、冷凝、回流，上除頭級雜質，中提雜醇油，下排尾級雜質，取得契合質量標準的成品——酒精。

精餾塔是精餾法提純四氯化硅、三氯氫硅的主要設備，它由塔釜、塔柱和塔頭三部分組成。精餾塔有多種，按資料分常見的有三種：石英玻璃精餾塔、不銹鋼精餾塔和不銹鋼聚四氟塑料襯里精餾塔。

在多晶硅生產中，常用的是不銹鋼或聚四氟塑料制成的填料。其實，的填料應該是用細薄壁石英玻璃管制成的填料。石英玻璃不只可以制成比表面積大、阻力小的填料，而且制成填料有滿足的強度和滿足的化學穩定性，由于石英玻璃本身便是硅制品，所以它不會對四氯化硅或三氯氫硅有任何的沾污。

清洗的辦法有以下幾種。

(1)油脂。鏟除油脂的辦法有多種,細微的油污可用棉絲擦除,大一點的油污可用堿洗去除,但是用四氯化碳去除。

(2)酸洗。鏟除油脂后需求進行酸洗。酸洗主要是去除鏟除油脂帶來的沾污和去除塔華夏有的氧化物、塵埃等其他雜質。

(3)水洗。水洗是選用高壓水沖洗,其意圖是去除酸洗留下的廢液和污垢,一直洗到中性停止。

(4)超純水清洗。超純水清洗的意圖是去除水和其他溶液在設備表面殘留的氣離子。

(5)枯燥。超純水清洗后應選用潔凈的氮氣或氫氣等干熱的氣體進行枯燥。

(6)料洗。完全枯燥后的精餾塔可以用三氯氫硅或四氯化硅料清洗。料洗后的精餾塔就可以用于生產。